南京大学 基础型组合式探针台 交付验收
核心指标:
底部蜂窝隔振面包板,有效隔绝Z轴向微振;
中间三维调节样品架,XY轴行程100mm,Z轴行程10mm,整体分辨率3um,360°旋转可锁紧;
探针座整体调节精度达10um,测量范围10pA-10A,XYZ行程13mm;
4英寸样品台,3个吸附孔,标配真空无油泵,可引出背电极;
标配进口钨钢探针,可测电流范围1fA-1A。
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