南京大学 TLRHP系列精密型基础测试探针台 交付验收
核心指标:
真空卡盘直径:4英寸
样品台位移精度:<3um
探针座位移精度:<3um
漏电流精度:<100fA
兼容多种光学显微镜,可外引光路实现光电mapping测试
是半导体材料或器件电学测试的理想选择。
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