南京工业大学 TLRH系列精密型基础测试探针台 交付验收
核心指标：
真空卡盘直径：4英寸
样品台位移精度：<3μm
探针座位移精度：<3μm
漏电流精度：<100fA
兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试
是半导体材料或器件电学测试的理想选择。
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