上海某前沿科创企业 TLRB系列标准型基础测试探针台 交付验收
核心指标:
真空吸附卡盘:6英寸
样品台位移精度:<10μm
探针座位移精度:<3μm
漏电流精度:<10pA
兼容多种光学显微镜,可外引光路实现光电mapping测试
是半导体材料或器件电学测试的理想选择。
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