国防科技大学 TLRH系列4英寸精密型基础测试探针台 验收交付
TLRH系列精密型基础测试探针台:
真空吸附卡盘:4英寸
样品台位移精度:<3μm
探针座位移精度:<3μm
漏电流精度:<10pA
探针座数量:4个3μm同轴针座
配置三目体式显微镜,整体二维精密调节
钨钢镀金探针
半导体光电器件等高精度电学测试的理想之选。
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