TLRH系列精密型基础测试探针台：
真空吸附卡盘：4英寸
样品台位移精度：<3μm
探针座位移精度：<0.7μm
漏电流精度：<100fA
探针座数量：4个3μm三同轴双屏蔽层针座
显微镜整体二维精密调节
镀金角度探针
半导体光电器件等高精度电学测试的理想之选。
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