高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。 | 
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技术参数：
1、整体304不锈钢材质，4英寸石英窗口； 2、控温范围：-142℃-600℃（如果高温300℃以上需要另配水冷系统），控温精度可达到±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃； 3、极限真空度优于2Pa（机械泵），如需更高真空度，可选择分子泵，真空度可达负Pa； 4、基座气浮平台，平面度＜0.1mm/㎡，振幅＜1.2um； 5、探针位移重复定位精度2um，分辨率3um，单轴直线度±2um； 6、三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构； 7、4英寸紫铜材质样品台，平面度优于5um。
详细配置参数说明： 名称 | 型号 | 单位 | 数量 | 参数 | 真空腔体 | LRS-401 | 套 | 1 | ● 直径8英寸，高度7英寸的304材质真空室 ● 上盖带4英寸石英观察镜 ● 下法兰带固定端，与光学平台连接 ● 直径为4英寸的紫铜材质样品台，平面度优于5um | 探针座 | LRS-402 | 套 | 4 | ● 行程：X轴40mm，Y轴40mm,Z轴40mm ● 分辨率3um，重复定位精度±2um，单轴直线度±2um ● 三同轴探针夹具，漏电精度100fA，接三同轴公接口，陶瓷结构 ● 探针臂移动真空密封装置，配置可压缩50mm的焊接波纹管，保证寿命可靠运行100万次。 | 显微控温系统 | LRS-403 | 套 | 1 | ● 配CCD采用USB连接电脑，分辨率2um ，2000万像素，可以拍照录像 ● 控温系统采用日本岛电温控仪表, 配置固态继电器、热电偶形成闭环PID控温和自整定调节，● 智能化30段可编程控制，控温精度可达到±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ ● 最高温度600℃，最低温度-142℃ | 抽真空系统 | LRS-404 | 套 | 1 | ● 机械泵采用中韩合资型号TRP-36，9L/s抽速，自带防返油阀门，KF25接口，KF25排气口，配有油雾过滤器。极限真空度优于5Pa | 气浮平台 | PLGZQ | 张 | 1 | ● 光学隔振平台专门设计的水平减震机构，隔振基础采用二层气囊隔离，空气隔离器利用空 气阻尼技术在各个方向上都提供了优异的减振性能，减振器自身的自然振动频率非常低，防止由瞬变干扰产生的摇摆 ● 平面度：＜0.10mm/m2 ● 固有频率：垂直1.2Hz～1.8Hz，水平1.2Hz～1.8Hz ● 振幅：＜1.2um ● 重复定位精度：±0.05mm |
测试环境： 极低温测试、高温无氧化测试 晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
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