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通用型0.5μm探针座

探针座作为探针台的核心部件,主要用途是连接探针和线缆,为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件,从调节精度上来区分可分为10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等,从操作方式来区分可分为手动和电动,此外根据应用场景的不同又可分为通用型探针座/万向型探针座/L型探针座等,广泛应用于半导体及光电行业的电学参数测试。


技术优势:

.主体材质采用进口航空铝,表面喷砂氧化,优质的机械性能;

.采用进口交叉滚珠导轨,超高稳定性;

.采用进口高分辨率差动微分头,分辨率高达0.5μm;

. 多功能调节夹具,可以实现180°旋转及60°定向倾斜调节;

.适用于在显微镜下定向调节探针,无视野遮挡;

.底部超强可调磁性底座,磁性吸附可达10Kg,保证扎针的稳定性;

.可选配升级真空吸附,搭配7L/min真空泵。


细节展示:

技术参数:

探针位移行程
XYZ三维分别13mm,180°旋转,精密60°角度倾斜(可锁紧)
整体结构外形尺寸300mm*82mm*120mm(LWH)
探针位移精度0.5μm
漏电精度10pA@同轴线缆,100fA@进口三同轴线缆
可选接头同轴线缆(BNC、鳄鱼夹、香蕉插头)/进口三同轴线缆(三同轴接口)
测量范围电流:10pA/100fA~10A , 电压:≤1400V


常规选型:

产品型号

调节精度

配套线缆

漏电流精度

TPLS005-UP

0.5μm

同轴线缆

(可选BNC/鳄鱼夹/香蕉插头)

10pA

TPLS005H-UP

0.5μm

三同轴线缆

100fA


应用领域:

适用于R/F测量,I/O点测量,直流DC测试,晶圆测试,电阻电压测试,太阳能电池测试,光电流测试,半导体器件分析测试等。

谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套探针台系统,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。