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高分辨二维材料转移平台

LMT-H系列高分辨二维材料转移系统是我司根据客户应用,自主研发的低维材料异质结器件转移产品,适用于石墨烯、硫化钼、黑磷等单层材料精确定点转移,以及多层范德华异质结的制备,实现了低维材料转移的可视化操作。转移系统由高分辨金相显微系统、精确控温系统、真空吸附系统、高精度四轴样品台及五轴衬底载物台等组成,目标衬底载物台可面内大角度旋转,是研究异质结特性、空间反演对称性破缺、以及二维材料不同堆叠方式影响的有力工具。






技术优势:

. 集成化设计,易操作

. 高分辨金相成像,实现μm级尺度转移

. 高位移精度,无回程差设计

. 精确控温模块,适用多种材料

应用领域:

. 魔角超导

. 二维材料堆叠

. 范德华异质结制备

. 异质结空间反演对称性破缺


主要配置:

衬底载物平台

XY方向两轴手动平移,台面60mm x 60mm,行程25mm,调节精度优于2μm;绕Z轴旋转调节,台面φ85mm,360°粗调,±5°精调,可视分辨率优于0.8′;水平倾斜调节,台面60mm x 60mm,调节范围±2°,最小调整量5′;真空吸附加热样品台,高温~240℃,PID温控器,控温精度优于±0.1℃,高热导率加热台面,带散热冷却模块,升降温速度快。

载玻片位移平台

XYZ方向三轴手动平移,台面80mm x 80mm,行程25mm,调节精度优于2μm;绕Z轴旋转调节,台面φ110mm,360°粗调,±5°精调,可视分辨率优于0.57′,定制高稳定载玻片夹具,装夹方便。

高分辨金相显微镜

双目镜SWH10X/25mm,0.65倍CTV,明场长轴照明器,五孔物镜转盘,标配5X、20X、50X复消色差长工作距离物镜,10X、100X可选,预留滤光及偏光插槽,带光阑调节通光量及视野大小,高稳定调焦机构,成像质量优异,适用μm级样品定点精确转移。

显微镜二维调节

显微镜整体XY二维调节,行程50mm,精度高达2μm,可在二维材料贴合之后,大范围调整显微镜观察视野。

成像相机

1200万像素高灵敏度彩色数字相机,高清成像,提供相机操作软件。

高清显示器

24英寸2K高清显示器,配置高稳定万向调节支架。

集成式电控机箱

系统电学控制集成,控制样品台加热、冷却模块、温控模块、真空吸附。

真空泵

吐出空气量7L/min,达到真空度-33.3Kpa,耐用时间超10000小时。

选配功能

探针台模块、光学隔振平台、PDMS热释薄膜、二维材料(机械剥离、块材)、物镜(10X、100X)、电动调节模块、手套箱环境使用等。


应用案例: