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便携型组合式探针台

探针台又称探针测试台,主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析,抽查测试等用途。



技术优势:

. 结构紧凑,功能实用,高性价比;

. 样品台XYZR四维调节,XYZ整体分辨率3um,360°旋转 粗调可锁紧;

. 满足1um以上电极/PAD使用;

. 兼容多种显微镜,可引入光路,完成光电mapping测试;

. 漏电精度可达10pA/100fA(屏蔽箱内);

. 精密传动机构,线性移动,无回程差设计;

. U型探针架,可以放置多个探针座;

. 整体尺寸小,方便携带,底部蜂窝隔振板,提高测试稳定性。



详细模块配置及参数说明:

名称

型号

单位

数量

参数

探针台台体

CST-01

1

. 底部蜂窝隔振面包板,带橡胶隔振地脚,有效隔绝Z轴微振;

. 四维调节样品架,XY轴行程110/150mm,Z轴行程10mm,整体分辨率3um,360°旋转可锁紧;

. U型探针架,可放置多个探针座。

探针座

TPLS-UP

选配

.三维调节,整体调节精度10um(可选配0.5um,1um,3um);

.测量范围:10pA/100fA(屏蔽箱环境)-10A;

.行程:XYZ行程分别13mm;

.固定方式:可调磁吸吸附,真空吸附,螺丝固定;

.配置线缆:同轴线缆(漏电精度10pA)/三同轴线缆(漏电精度100fA)。

显微成像模块

ST611

.放大倍数:7-200倍;

.图像传感器:2000万像素,支持电脑控制,拍照录像,HDMI输出;

.中心距离:140mm,总高:350mm,升降范围270mm;

.目镜:采用高眼点超广角目镜,视场φ23mm;

.外置高亮无极调节亮度环形LED光源;

.配置显微镜万向支架;

.配置高清显示器及显示器万向支架;

.可选配XY二维调节装置,行程25*25mm,分辨率3um;

.可据需求选配如电子显微镜、高分辨金相显微镜等。

真空吸附卡盘

PSL31

1

.台面尺寸:4/6英寸可选,不锈钢材质;

.标配进口无油真空泵,吐出空气量7L/min,长期稳定运行;

.环形吸附模式,增强吸附力;

.背电极设计,可引出背电极;

.真空吸附套装附件。

探针

S001

1

.钨钢探针:长38mm,直径0.5mm,可测电流范围,1fA-1A,针尖直径可选(1/3/5/10/30/50/150/300/500um);

.钨钢镀金探针:长38mm,直径0.5mm,可测电流范围,1fA-1A,针尖直径可选(1/3/5/10/30/50/150/300/500um);

.镀金软针:长51mm,可测电流范围,1fA-1A,针尖直径可选(5/10/30/50/125um)。


常规选型:

产品型号

样品台尺寸

样品台行程(XY)

样品台位移精度

探针座位移精度

漏电流精度

TLRSP-04

4英寸

110*110mm

3um

10um

10pA

TLRSF-04

4英寸

110*110mm

3um

10um

100fA

TLRSP-06

6英寸

110*110mm

3um

10um

10pA

TLRSF-06

6英寸

110*110mm

3um

10um

100fA

TLRSP-06L

6英寸

150*150mm

3um

10um

10pA

TLRSF-06L

6英寸

150*150mm

3um

10um

100fA


实验附件及常规测试步骤:

光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表(含软件)等。

测试时连接探针台和数字源表,探针接被测物体,通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面,待连接导通后打开源表软件,选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。


应用领域:

半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套探针台系统,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。