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精密气浮隔振光学平台

谱量光电研发制造的精密气浮隔振光学平台,能够满足精密负载对振动隔离需求。上面板采用优质高导磁SUS430不锈钢,台面内核为三层夹心式蜂窝结构,内核密度大幅度提高,具有优秀的硬重比和刚性,同时保证了较低的固有频率,具备行业较高的隔振效果。上台面采用精密磨削工艺,平面度可达≤0.05mm/㎡,表面粗糙度<0.6um,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、哑光效果,面板具有M6阵列螺孔,易于固定光学元件。

气浮支架采用整体焊接工艺(四支撑或六支撑结构),半膜片式空气弹簧,采用进口三水平调节阀技术,反应灵敏,响应迅速,在超载偏重的实验条件下,能瞬间恢复初始的平衡状态。支撑腿内部为二级气室结构,气室间带有阻尼孔,气动元件全部采用德国FESTO产品,标配优质大功率超静音压缩机,整体结构保证平台有较高的稳定性。



技术参数:

平面度

≤0.05mm/㎡

表面粗糙度

<0.6um

固有频率

X方向:1.2~2Hz,Y方向:1.2~2Hz

振幅

<1.2um

螺孔间距

25mm

孔距公差

±0.05mm

螺孔规格M6(公制)
螺孔公差±0.03mm
载荷能力300Kg/㎡
台面厚度

100mm/150mm/200mm/250mm/300mm

台面重量

120Kg/㎡@100mm厚,140Kg/㎡@200mm厚,165Kg/㎡@300mm厚(≈)


选型表:

产品型号

尺寸(mm)

载荷(Kg)

支撑腿数量

支架宽度(mm)

PLGZQ-06

600x600x800

800

4

120*120

PLGZQ-075

750x750x800

800

4

120*120

PLGZQ-0906

900x600x800

800

4

120*120

PLGZQ-1007

1000x700x800

800

4

120*120

PLGZQ-1008

1000x800x800

800

4

120*120

PLGZQ-1208

1200x800x800

800

4

120*120

PLGZQ-1509

1500x900x800

1400

4

200*200

PLGZQ-1510

1500x1000x800

1400

4

200*200

PLGZQ-1609

1600x900x800

1400

4

200*200

PLGZQ-1810

1800x1000x800

1400

4

200*200

PLGZQ-1812

1800x1200x800

1400

4

200*200

PLGZQ-2010

2000x1000x800

1400

4

200*200

PLGZQ-2012

2000x1200x800

1400

4

200*200

PLGZQ-2015

2000x1500x800

1400

4

200*200

PLGZQ-2412

2400x1200x800

1400

4

200*200

PLGZQ-2415

2400x1500x800

2000

4

200*200

PLGZQ-3010

3000x1000x800

2000

6

200*200

PLGZQ-3012

3000x1200x800

2000

6

200*200

PLGZQ-3015

3000x1500x800

2000

6

200*200

PLGZQ-3512

3500x1200x800

2000

6

200*200

PLGZQ-3515

3500x1500x800

2000

6

200*200

PLGZQ-4015

4000x1500x800

2500

6

200*200

PLGZQ-4215

4200x1500x800

2500

8

200*200

PLGZQ-4815

4800x1500x800

2500

8

200*200

PLGZQ-5415

5400x1500x800

2500

12

200*200

PLGZQ-6015

6000x1500x800

2500

12

200*200

各种尺寸、各种支撑均可按客户需求定制。