探针台又称探针测试台,主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析,抽查测试等用途。 LVSC系列太阳能电池测试探针台是谱量根据客户实际应用需求,推出的结构小巧,功能实用,性价比高的专用探针台,该探针台系统包括探针台体、镀金样品台、真空吸附系统、探针座等。 多用于太阳能电池及电池片测试。 |
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| 技术优势:
.紫铜样品台,集成两种测试模块,方便测试不同样品 .针座采用一体式探针夹具,镀金处理,10μm调节精度 .进口高功率超静音无油真空泵,经久耐用 .系统小巧轻便集成度高,操作简单 |
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详细模块配置及参数说明: 名称 | 型号 | 单位 | 数量 | 参数 | 探针台台体 | CRS-RH | 套 | 1 | . 一体式铝合金氧化底座,表面哑光处理;
. 底部配升降地脚,可以满足不同实验环境;
. 两侧集成探针架,带磁吸功能; . 倾斜式把手,方便搬运; | 探针座 | TPLS-IP | 套 | 2 | .三维调节,整体调节精度10μm; .测量范围:10pA-10A; .行程:XYZ行程分别13mm; .固定方式:可调磁吸吸附; .一体式探针夹具,表面镀金处理,兼顾稳定性及测试精度。 | 真空吸附样品台 | PSL10 | 个 | 1 |
.台面尺寸:4英寸,紫铜材质; .配置水冷接口,有效提高测试稳定性; .集成两种测试模块,均具有吸附功能,单独吸附孔道; .边缘绝缘性处理,消除短路隐患,适合叠层太阳能电池测试; .滑动式切换,方便测试不同样品; | 静音无油真空泵 | PST-30 | 台 | 1 | .标配进口无油真空泵,吐出空气量7L/min,长期稳定运行; .吸力强劲无噪音; .不加油密封性能好; | 探针 | PTR-03 | 盒 | 1 | .钨钢探针:长38mm,直径0.5mm,可测电流范围1fA-1A,针尖直径可选(1/3/5/10/30/50/150/300/500μm); .钨钢镀金探针:长38mm,直径0.5mm,可测电流范围1fA-1A,针尖直径可选(1/3/5/10/30/50/150/300/500μm); .镀金软针:长51mm,可测电流范围1fA-1A,针尖直径可选(5/10/30/50/125μm)。 |
常规选型: 产品型号 | 样品台尺寸 | 样品台位移精度 | 探针座位移精度 | 漏电流精度 | LVSCP-04 | 4英寸 | 10μm
| 10μm | 10pA | LVSCF-04 | 4英寸 | 10μm | 10μm | 100fA |
实验附件及常规测试步骤: 光学隔振平台、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2450数字源表(含软件)等。 测试时连接探针台和数字源表,探针接被测物体电极,待连接导通后打开源表软件,选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。
应用领域: 太阳能电池及电池片测试、半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。 谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套探针台系统,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。
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