探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。 LVSC系列太阳能电池测试探针台是谱量根据客户实际应用需求，推出的结构小巧，功能实用，性价比高的专用探针台，该探针台系统包括探针台体、镀金样品台、真空吸附系统、探针座等。 多用于太阳能电池及电池片测试。 |
| 技术优势：
.紫铜样品台，集成两种测试模块，方便测试不同样品 .针座采用一体式探针夹具，镀金处理，10μm调节精度 .进口高功率超静音无油真空泵，经久耐用 .系统小巧轻便集成度高，操作简单 |
详细模块配置及参数说明： 名称 | 型号 | 单位 | 数量 | 参数 | 探针台台体 | CRS-RH | 套 | 1 | . 一体式铝合金氧化底座，表面哑光处理；
. 底部配升降地脚，可以满足不同实验环境；
. 两侧集成探针架，带磁吸功能； . 倾斜式把手，方便搬运； | 探针座 | TPLS-IP | 套 | 2 | .三维调节，整体调节精度10μm; .测量范围：10pA-10A； .行程：XYZ行程分别13mm； .固定方式：可调磁吸吸附； .一体式探针夹具，表面镀金处理，兼顾稳定性及测试精度。 | 真空吸附样品台 | PSL10 | 个 | 1 |
.台面尺寸：4英寸，紫铜材质； .配置水冷接口，有效提高测试稳定性； .集成两种测试模块，均具有吸附功能，单独吸附孔道； .边缘绝缘性处理，消除短路隐患，适合叠层太阳能电池测试； .滑动式切换，方便测试不同样品； | 静音无油真空泵 | PST-30 | 台 | 1 | .标配进口无油真空泵，吐出空气量7L/min,长期稳定运行； .吸力强劲无噪音； .不加油密封性能好； | 探针 | PTR-03 | 盒 | 1 | .钨钢探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）； .钨钢镀金探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）； .镀金软针：长51mm，可测电流范围1fA-1A，针尖直径可选（5/10/30/50/125μm)。 |
常规选型： 产品型号 | 样品台尺寸 | 样品台位移精度 | 探针座位移精度 | 漏电流精度 | LVSCP-04 | 4英寸 | 10μm
| 10μm | 10pA | | LVSCF-04 | 4英寸 | 10μm | 10μm | 100fA |
实验附件及常规测试步骤： 光学隔振平台、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2450数字源表（含软件）等。 测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体电极，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。
应用领域： 太阳能电池及电池片测试、半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。 谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。
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