探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。
随着近年来柔性电子材料与器件及压电薄膜材料等领域的日渐崛起，如柔性可穿戴传感器，人机交互、储能换能器件、软体智能机器等应用更是吸引众多研究者的关注。针对该研究领域，我司特开发TLPS-E系列原位高精度电动拉伸探针台产品，为柔性薄膜材料、压电材料等相关提供研究解决方案，是研究材料不同曲率条件下光电特性变化的有力工具。
技术优势：
.样品台XY二维手动调节，整体调节精度达3μm；
. 超薄四轴电动拉伸台，重复定位精度高达1μm;
.顶丝夹持式夹具，四向固定，也可根据实验需求定制；
. 激光显微镜，5档物镜转盘，可引入激光完成光电流测试；
. 显微镜电动调焦，行程150mm，重复定位精度高达1μm;
. 集成式电动控制器，上位机及高精度手柄;控制；
. 标配3个3μm精度直流探针座（可选配）；
. 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）;
. 配置显微镜XY二维辅助调节，行程50mm，调节精度3μm。
细节展示：
详细模块配置及参数说明：
名称
型号
单位
数量
参数
探针台台体
MPT-H
套
1
. 底部蜂窝隔振面包板，带橡胶隔振地脚，有效隔绝Z轴微振；
. 二维调节样品架，XY轴行程110mm，整体分辨率3μm；
. 两边龙门架结构，尺寸：300mm*150mm*190mm。
探针座
TPLS-UP
3
.三维调节，整体调节精度3μm（可选配0.5μm，1μm）;
.测量范围：10pA/100fA(屏蔽箱环境)-10A；
.行程：XYZ行程分别13mm；
.固定方式：可调磁吸吸附；
.探针夹持角度：偏摆60°；
.配置线缆：同轴线缆（漏电精度10pA）/三同轴线缆（漏电精度100fA）。
显微成像模块
.高分辨激光成像显微镜，可外引激光，配置5X、10X、20X、50X物镜（可选），五档位物镜转盘；
.图像传感器：2000万像素，支持电脑控制，拍照录像，HDMI输出；
.照明光源：白色LED照明：同轴照明系统，选用高亮度单颗3W LED，色温5500K，照明均匀；LED照明控制器90V-250V宽电压3W LED控制器，可调光；
.集成 XY 手动位移调节以及电动升降调焦，XY行程50mm，调节精度3μm， 升降行程150mm，精度达1μm；
原位电动四轴拉伸台
HST-04
.四轴电动控制，行程50mm，台面尺寸40*25mm；
.重复定位精度达1μm，运行平稳度0.01mm；
.四轴运动控制器，上位机及高精度手柄控制；
.支持二次开发协议以及基于Labview程序开发定制；
探针
PTR-03
盒
.钨钢探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；
.钨钢镀金探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；
.镀金软针：长51mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（5/10/30/50/125μm)。
常规选型：
产品型号
样品台位移精度
拉伸台行程
拉伸台位移精度
漏电流精度
TLPS-E
3μm
50mm
1μm
100fA
应用领域：
柔性电子材料与器件、压电薄膜、半导体压电材料、柔性科穿戴器件、换能器、压电传感等。
谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。
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