探针台又称探针测试台,主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析,抽查测试等用途。该探针台系统包含隔振底板、探针架、高精度探针定位器、恒温样品台、显微成像模块等。
LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要,而特定设计的一款高精密控温探针台,系统兼顾位移调节精度及控温精度,实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化,广泛应用于光电半导体等相关领域。
技术优势:
.模块化设计,可以搭配不同构件完成不同测试
. 最大可用于12英寸以内样品测试
.探针台整体位移精度高达3μm,样品台精密四维调节
. 兼容多种光学显微镜,可外引光路实现光电mapping测试
. PID控温,可加热至300℃,精度±0.1℃,均匀性±5℃;
. 满足1μm以上电极/PAD使用
. 漏电精度可达10pA/100fA(屏蔽箱内)
. 探针座采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计
. 加宽探针放置架,可放置6个DC探针座/4个RF探针座
. 显微镜可二维精密调节,且可选配多种行程及驱动方式
.材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等
细节展示:
详细模块配置及参数说明:
名称
型号
单位
数量
参数
探针台台体
MPTN-RH
套
1
. 底部蜂窝隔振面包板,带橡胶隔振地脚,有效隔绝Z轴微振;
. 三维调节样品架,XY轴行程110mm,Z轴行程10mm,整体分辨率3μm,360°粗调,±5°精调;
. 两边龙门架结构,尺寸:300mm*150mm*190mm。
探针座
TPLS-UP
选配
.三维调节,整体调节精度3μm(可选配0.5μm,1μm);
.测量范围:10pA/100fA(屏蔽箱环境)-10A;
.行程:XYZ行程分别13mm;
.固定方式:可调磁吸吸附;
.探针夹持角度:偏摆60°;
.配置线缆:同轴线缆(漏电精度10pA)/三同轴线缆(漏电精度100fA)。
显微成像模块
.放大倍数:40.2-270倍;
.图像传感器:2000万像素,支持电脑控制,拍照录像,HDMI输出;
.中心距离:140mm,总高:350mm,升降范围270mm;
.目镜:采用高眼点超广角目镜,视场φ23mm;
.外置高亮无极调节亮度环形LED光源;
.配置显微镜万向支架;
.配置高清显示器及显示器万向支架;
.可选配XY二维调节装置,行程25*25mm,分辨率3um;
.可据需求选配如电子显微镜、高分辨金相显微镜等。
真空吸附卡盘
PSL31
.台面尺寸:4/6/8/12英寸可选,有镀金、铝合金、紫铜材质;
.4英寸3个吸附孔,6/8英寸4个吸附孔,12英寸5个吸附孔;
.PID控温,可加热至300℃,控温精度±0.1℃;
.有效区域温度均匀性±5℃;
.标配进口无油真空泵,吐出空气量7L/min,长期稳定运行;
.搭配聚四氟材质旋转可锁紧装置,分离锁紧,360°旋转;
.背电极设计,可引出背电极;
.吸附孔独立圆槽设计,增强吸附能力,绝缘电学分离处理;
.单独吸附孔道,独立真空吸附开关;
.真空吸附套装附件。
探针
S001
盒
.钨钢探针:长38mm,直径0.5mm,可测电流范围,1fA-1A,针尖直径可选(1/3/5/10/30/50/150/300/500μm);
.钨钢镀金探针:长38mm,直径0.5mm,可测电流范围,1fA-1A,针尖直径可选(1/3/5/10/30/50/150/300/500μm);
.镀金软针:长51mm,可测电流范围,1fA-1A,针尖直径可选(5/10/30/50/125μm)。
常规选型:
产品型号
样品台尺寸
样品台位移精度
探针座位移精度
漏电流精度
LVHT-04
4英寸
3μm
100fA
LVHT-06
6英寸
LVHT-08
8英寸
LVHT-12
12英寸
实验附件及常规测试步骤:
光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表(含软件)等。
测试时连接探针台和数字源表,探针接被测物体,通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面,待连接导通后打开源表软件,选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。
应用领域:
半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。
谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套探针台系统,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。
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