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谱量光电研发生产的三线摆式高性能气浮隔振光学平台，是我司结合多年在隔振领域的研发及应用经验，为超高精密实验需求开发的一款高性能气浮隔振平台，对标业内一线品牌，支腿为独立式圆腿支撑，无整体共振，内部三线摆设计可将振动隔离到更低的水平，并在受到干扰后实现高精度工作台重新定位，层流阻尼技术大大提高阻尼效率，混合腔设计极大增加给定尺寸下的柔性体积，同时有效降低了固有频率。 平台标配大功率优质超静音压缩机。上面板采用优质高导磁430不锈钢具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点，经精密研磨处理平面度高，回旋打磨工艺清除毛边达到无反射、亚光效果，面板具有M6阵列螺孔，易于固定光学元件，是超高精密科研实验的理想之选。
技术优势：
| ● 微米级层流阻尼 ● SMC 纳米级高流量气动执行元件 ● 高性能气动减振器，共振频率最低 1Hz ● 支腿顶部配有安全连接件，大大提升安全性 | ● 混合腔设计最大程度的提高了工作稳定性与极低的固有频率
●三线摆设计最大程度的隔离振动并在受到干扰后实现高精度复位 ●顶部调节装置可轻松完成±10mm 调节 ●行业领先的蜂窝粘接焊接专利技术 |
产品展示：
技术参数：
平面度 | ≤0.05mm/㎡ | 表面粗糙度 | ＜0.8μm | 固有频率 |
垂直＜1.0-1.5Hz；水平＜1.0-1.5Hz（同实际负载相关）垂直共振低至 1Hz | 减振效率 |
垂直：5Hz 时：85-90％；10Hz 时：91-96％ 水平：5Hz 时：87-92％；10Hz 时：92-97％ | 振幅 | <2μm | 孔距公差 | ±0.05mm | | 螺孔规格 | M6（公制） | | 螺孔公差 | ±0.03mm | | 载荷能力 | 300Kg/㎡ | | 台面厚度 | 100mm/150mm/200mm/250mm/300mm | | 台面重量 | 120Kg/㎡@100mm厚，140Kg/㎡@200mm厚，165Kg/㎡@300mm厚（≈） | | 调节方式 | 自动定心 | | 隔振方式 | 三线摆杆、混合腔结构 | | 阻尼方式 | 微米级层流阻尼 |
测试数据：
减振效率：垂直：5Hz 时：91％；10Hz 时：94％，水平：5Hz 时：92％；10Hz 时：97％ | 
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静态振幅测试结果：0.00192 | 
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固有频率测试结果：垂直固有频率 1.40625Hz | 
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水平固有频率 1.25Hz | 
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产品选型表： 产品型号 | 尺寸（mm） | 载荷（Kg） | 支腿外径（mm） | 支腿数量（mm） | PLGQS-1208 | 1200x800x800 | 800 | 300 | 4支撑 | PLGQS-1509 | 1500x900x800 | 1400 | 300 | 4支撑
| PLGQS-1510 | 1500x1000x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-1609 | 1600x900x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-1810 | 1800x1000x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-1812 | 1800x1200x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-2010 | 2000x1000x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-2012 | 2000x1200x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-2015 | 2000x1500x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-2412 | 2400x1200x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-2415 | 2400x1500x800 | 2000 | 300 | 4支撑 | PLGQS-3010 | 3000x1000x800 | 2000 | 300 | 6支撑 | PLGQS-3012 | 3000x1200x800 | 2000 | 300 | 6支撑 | PLGQS-3015 | 3000x1500x800 | 2000 | 300 | 6支撑 | PLGQS-3512 | 3500x1200x800 | 2000 | 300 | 6支撑 | PLGQS-3515 | 3500x1500x800 | 2000 | 300 | 6支撑 | PLGQS-4015 | 4000x1500x800 | 2500 | 300 | 8支撑 | PLGQS-4215 | 4200x1500x800 | 2500 | 300 | 8支撑 | PLGQS-4815 | 4800x1500x800 | 2500 | 300 | 8支撑 | PLGQS-5415 | 5400x1500x800 | 2500 | 300 | 10支撑 | PLGQS-6015 | 6000x1500x800 | 2500 | 300 | 10支撑 |
*各种尺寸规格均可按客户需求定制。
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